高分辨率臺式掃描電鏡主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個密封的柱形容器，真空泵用來在真空柱內產生真空，有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足真空要求。
高分辨率臺式掃描電鏡由真空系統、電子光學系統、樣品室和樣品臺、電子探測器、背散射電子探頭、真空泵、自動穩壓器、工具、計算機、操作軟件及附件組成，主要用于材料科學、化學化工、生命科學以及相關領域的研究工作，對各種掃描電鏡工產品、生物制品、非金屬礦及深加工產品等進行觀測。
電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增加電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。
不僅可在真空下，還可在大氣壓下進行觀察，含水樣品也無需前處理即可直接觀察，是目前市面上一款大氣壓模式下觀測的掃描電鏡，免去了了生物，食品，化妝品等樣品復雜的前處理過程，同時還能觀察樣品的原始形貌。
臺式掃描電鏡直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡化分析程序、提高工作效率。您會比以往更快、更多的獲取數據。掃描電鏡有較高的放大倍數，幾萬～幾十萬倍之間連續可調；有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；試樣制備簡單。
目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。
